1 |
XH-KDY-1BS 型四探針電阻率測(cè)試儀
|
|
1、 配有雙數(shù)字表: 一塊數(shù)字表在測(cè)量顯示硅片電阻率的同時(shí),另一塊數(shù)字表(以萬(wàn)分之幾的精度)適時(shí)監(jiān)測(cè)全過(guò)程中的電流變化,使操作更簡(jiǎn)便,測(cè)量更精確。
數(shù)字電壓表量程:0—199.99mV
靈敏度:10μV
輸入阻抗:1000ΜΩ
基本誤差±(0.04-0.05%讀數(shù)+0.01%滿度)
2、
可測(cè)電阻率范圍:10—4 —1.9×104Ω•cm
可測(cè)方塊電阻范圍:10—3 —1.9×105Ω/□。
3、 設(shè)有電壓表自動(dòng)復(fù)零功能,當(dāng)四探針頭1、4 探針間未有測(cè)量電流流過(guò)時(shí),電壓表指零,只有1、4 探針接觸到硅片,測(cè)量電流渡過(guò)單晶時(shí),電壓表才指示2、3 探針間的電壓(即電阻率)值,避免空間雜散電波對(duì)測(cè)量的干擾。
4、 流經(jīng)硅料的測(cè)量電流由高度穩(wěn)定(萬(wàn)分之五精度)的特制恒流源提供,不受氣候條件的影響,整機(jī)測(cè)量精度<3%。電流量程分五檔:10μA、100μA、1mA、10mA、100mA。
5、 儀器采用觸點(diǎn)電阻更低(<5mΩ)、使用壽命更長(zhǎng)的轉(zhuǎn)換開(kāi)頭及繼電器(>10 萬(wàn)次),在絕緣電阻、電流容量方面留有更大的安全系數(shù),提高了測(cè)試儀的可靠性和使用壽命。
6、 加配軟件配電腦使用,實(shí)現(xiàn)自動(dòng)換向測(cè)量、求平均值,計(jì)算并打印電阻率最大值、最小值、最大百分變化率、平均百分變化率等內(nèi)容。
7、 四探針頭采用國(guó)際上先進(jìn)的紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu),使探針的游移率減小,測(cè)量重復(fù)性提高(國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局已于2005.02.02 授予專(zhuān)利權(quán),專(zhuān)利號(hào):ZL03274755.1)。
|
|
|
|
|
|
|
|